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2023
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摘要：基膜厚度是許多工業(yè)領(lǐng)域中重要的參數，特別是在薄膜涂覆和半導體制造等領(lǐng)域。本報告提出了一種基于高精度光譜感測的基膜厚度測量方案，該方案采用非接觸測量技術(shù)，具有高重復性精度要求和不損傷產(chǎn)品表面的優(yōu)勢。通過(guò)詳細的方案設計、設備選擇和實(shí)驗驗證，展示了如何實(shí)現基膜厚度的準確測量，并最終提高生產(chǎn)效率。引言基膜厚度的精確測量對于許多行業(yè)來(lái)說(shuō)至關(guān)重要。傳統測量方法中的接觸式測量存在損傷產(chǎn)品表面和對射測量不準確的問(wèn)題。相比之下，高精度光譜感測技術(shù)具有非接觸、高重復性和高精度的優(yōu)勢，因此成為了基膜厚度測量的理想方案。方案設計基于高精度光譜感測的基膜厚度測量方案設計如下：2.1 設備選擇選擇一臺高精度光譜感測儀器，具備以下特點(diǎn)：微米級或亞微米級分辨率：滿(mǎn)足對基膜厚度的高精度要求。寬波長(cháng)范圍：覆蓋整個(gè)感興趣的波長(cháng)范圍?？焖俨杉俣龋耗軌蚩焖佾@取數據，提高生產(chǎn)效率。穩定性和重復性好：確保測量結果的準確性和可靠性。2.2 光譜感測技術(shù)采用反射式光譜感測技術(shù)，原理如下：在感測儀器中，發(fā)射一個(gè)寬光譜的光源，照射到待測樣品表面。根據不同厚度的基膜對光的反射率不同，形成一個(gè)光譜反射率圖像。通過(guò)對反射率圖像的分析和處理，可以確定基膜的厚度。2.3 實(shí)驗設計設計實(shí)驗驗證基膜厚度測量方案的準確性和重復性。選擇一系列已知厚度的基膜作為標準樣品。使用高精度光譜感測儀器對標準樣品進(jìn)行測量，并記錄測量結果。重復多次測量，并計...